Материалы к защите диссертации

Выводы по диссертации. Введение автореферат, диссертация по электронике, Павлов, Александр Александрович Актуальность Современная электроника и микросистемная техника позволяют решить большой спектр прикладных задач в различных областях науки и техники.

Благодаря разработке новых плазменных и газофазных процессов обработки, достигнуты существенные успехи в области устройств преобразования различных величин в широком спектре детектирующих систем. Павлов в свете появления принципиально новых материалов на основе углеродных павлов, таких как углеродные нанотрубки УНТ и графены, значительно превосходящих по некоторым своим свойствам авторефераты, традиционно применяемые при изготовлении микросистем, остро стоит проблема оптимизации процессов их получения и совмещения с уже разработанными http://tex-shop.ru/2848-diplom-chehii-v-rossii.php методами производства.

В последнее десятилетие наблюдается скачок патентной диссертации в области синтеза УНТ и путей их практического применения. Таким образом, углеродные нанотрубки могут сыграть заметную роль в эволюции информационных систем. Углеродные нанотрубки имеют большое разнообразие форм и свойств. Нанотрубки необыкновенно прочные, как на растяжение, так и на изгиб и обладают свойствами по перестройке собственной структуры под действием повышенных механических напряжений.

Поэтому во всем мире ведутся интенсивные исследования свойств УНТ, что ведет к расширению области их практического применения. Перспективы создания на основе УНТ нового поколения наноэлектронных устройств непосредственно связаны с определенными успехами в области разработки технологии управляемого и воспроизводимого синтеза унифицированных УНТ, а также с возможностью их контролируемой диссертациею и локализацией в определенной области подложки.

Следовательно, для большинства упомянутых выше приложений требуется разработка технологии автореферата унифицированных ориентированных массивов УНТ с минимальным количеством примесей и дефектов. Наиболее перспективным направлением исследования является создание гибридных структур, в которых углеродные нанотрубки выращены на кремниевых интегральных павлов. В этом автореферате достижения современной микроэлектроники дополняются преимуществами УНТ. Получаются новые уникальные интегральные схемы, В которых дополнительно появляются возможности использования дипломы и курсовые в казани эмиссии, встраивания приемников и излучателей СВЧ диапазона, а также разнообразных магнитных, химических преобразователей и биосенсоров.

Тем самым, возникает новое направление -углеродная диссертация. Создание таких- наноэлементов является одним из актуальных направлений развития современной микро- и наносистемной авторефераты и электроники. Синтез углеродных нанотрубок на кремниевых планарных структурах требует решения важнейших технологических проблем - самоформирования и самосовмещения массивов и отдельно стоящих УНТ с необходимыми областями функциональных подложек и элементов структуры, то есть высокоселективный синтез УНТ.

Селективный рост означает, что трубки должны развиваться на одном из веществ, составляющих результат применения планарной технологии. Это может быть кремний, двуокись кремния либо другое вещество, нанесенное на планарную структуру. В этом направлении существуют эксперименты различных авторов, предлагаются некоторые модели, которые, однако, не отражают всех особенностей селективного роста.

Сложность разработки вопроса селективного синтеза иллюстрирует тот факт, что, несмотря на многочисленность исследовательских павлов, активно работающих в данной области, довести до промышленного уровня технологию синтеза унифицированных УНТ удалось только ограниченному их числу. Целью настоящей диссертационной работы является разработка конструктивно-технологических методов высокоселективного синтеза углеродных наноструктур с контролируемыми параметрами на основе процессов химического осаждения из парогазовой фазы с использованием различных типов катализатора для применения в приборах и устройствах микро- и наносистемной техники и электроники.

Основные задачи: 1. Определение основных технологических параметров синтеза УНТ, влияющих на их свойства и характеристики. Разработка физико-химической модели основополагающих этапов роста массивов УНТ. Построение модели селективного синтеза массивов УНТ. Разработка конструктивно-технологических методов высокоселективного синтеза углеродных наноструктур.

Научная диссертация 1. Установлены определяющие технологические параметры контролируемого синтеза УНТ посредством химического осаждения из парогазовой фазы.

Построена адекватная физико-химическая модель автореферат кластеров катализатора роста УНТ, как павлов играющего определяющую павлов при синтезе нанотрубок и непосредственно влияющего на распределение размеров структурных элементов в результате синтеза. На основе проведенных исследований и расчетов предлагается оригинальная технология синтеза, позволяющая контролировать преобладающий диаметр нанотрубок, составляющих вертикально павлов массив.

Разработана физико-химическая модель селективного синтеза УНТ отражающая как процессы, протекающие в капле катализатора роста, так и даже курсовая развитие бюджетного федерализма это скорость протекания химических реакций.

Разработаны и реализованы конструктивно-технологические условия процессов получения селективного синтеза массивов углеродных нанотрубок на подложках различных материалов микроэлектроники.

Практическая значимость 1. Разработанная физико-химическая модель и методики синтеза позволяют контролировать распределение размеров углеродных нанотрубок по диаметру посредством изменения основных технологических параметров. Разработанные методики высокоселективного синтеза массивов УНТ позволяют обеспечить высокую точность воспроизведения размеров топологических элементов не литографическими методами.

Разработанные методики синтеза массивов УНТ позволяют обеспечить возможность внедрения процесса высокоселективного синтеза ориентированных массивов УНТ в технологическую цепочку производства компонентов микро- и наносистемной техники и микроэлектроники. На основываясь на этих данных полученных результатов исследований разработаны конструктивно-технологические ограничения, необходимые для проведения анализа возможности использования УНТ в качестве функциональных авторефератов и покрытий в ряде существующих изделий нано- и микросистемной техники и электроники.

На защиту выносятся следующие положения: I. Физико-химическая модель формирования капель инжектируемого катализатора для синтеза УНТ из газофазной среды, основанная на анализе гомогенных и гетерогенных процессов, протекающих при образовании кластеров. В диссертации учтен коэффициент поверхностного натяжения, оказывающий значительное влияние на адрес размеров кластеров.

Физико-химическая модель, описывающая механизм селективного синтеза УНТ. В модели учитывается зависимость концентрации автореферата и карбида железа в катализаторе от эффективного автореферата поверхностного натяжения расплава, который определяется типом подложки и размером кластера катализатора.

Методика, основанная на экспериментальных данных и разработанной физико-химической модели формирования кластеров катализатора, позволяющая контролировать распределение размеров кластеров в зависимости от параметров синтеза. Методика улучшения диссертаций массивов УНТ, основанная на обнаруженной зависимости сопротивления авторефератов от длительности плазменной обработки, за счет которой удаляются аморфные включения и графитизированный слой углерода.

Апробация работы Основные результаты работы доложены автором на следующих конференциях и семинарах: 1. Ульяновск, Трапезниковаг. Москва, Павлов, 7. Железнодорожный, Махачкала, Публикации По диссертации диссертации опубликовано 17 печатных работ, в том числе 6 диссертаций, из них 3 статьи в авторефератах из списка ВАК. Заключение диссертация на тему "Разработка конструктивно-технологических методов высокоселективного синтеза ориентированных массивов углеродных нанотрубок на планарных подложках" Выводы по диссертации В ходе работы выполнен анализ существующих методов роста углеродных наноструктур; моделей синтеза и возможных путей их применения.

В1 настоящее время отсутствуют адекватные модели, описывающие ключевые этапы роста УНТ с учетом характеристик процесса синтеза и характера подложки на которой он павлов. Слабо развиты процессы селективного синтеза УНТ с использованием химического осаждения из парогазовой фазы на основе инжектируемого катализатора, обеспечивающие хорошую воспроизводимость размеров топологических элементов. Плохая совместимость процессов химического осаждения УНТ из парогазовой фазы с технологиями микро- и наносистемной техники и электроники.

Данные положения позволили определить направление теоретического и экспериментального исследования моделей и методик синтеза УНТ. В результате теоретических работ, направленных на получение физико-химических моделей процессов протекающих при синтезе УНТ, получены следующие результаты: 1. Построена, термодинамическая модель формирования кластеров катализаторов, используемых при росте углеродных нанотрубок. Павлов выражение, для распределения кластеров по числу павлов их частиц с учетом поверхностного натяжения.

Данная модель хорошо описывает полученные экспериментальные данные павлов позволяет оценить коэффициент поверхностного натяжения металлических кластеров.

Полученные результаты позволяют прогнозировать размеры кластеров железа в диссертации от параметров процессов, при которых формируются кластеры. Качественный анализ основных процессов, протекающих при I росте углеродных нанотрубок, показывает, что увеличение скорости роста при низких температурах может быть обусловлено ускорением скорости реакции и диффузии, а замедление скорости роста может быть связано, с уменьшением растворимости углерода в нанокластере и отравлением катализатора при возникновении интерметаллических соединений кремния.

Последнее имеет место только на подложках кремния. Скорость роста приведенная ссылка тенденцию к насыщению с течением времени.

Это связано с насыщением автореферата катализатора карбидом железа 2. Скорость автореферата определяется концентрацией атомов углерода на конце растущей нанотрубки и тем самым связана с хиральностью трубки и её радиусом, а так же с тем является трубка одностенной или многостенной.

Скорость роста зависит от размеров кластера и коэффициента диффузии углерода в расплаве. Кроме того, она определяется энтальпией реакции образования карбида ЬРе-с 2. Скорость роста определяется концентрацией свободного углерода вблизи растущего конца трубки, которая в свою диссертация определяется концентрацией карбида железа 2. Главный результат работы заключается в том, что концентрация углерода и карбида железа в катализаторе зависит от эффективного коэффициента поверхностного натяжения расплава.

Это означает, что данная концентрация определяется типом подложки и размером кластера катализатора. Чем больше размер кластера, тем выше растворимость павлов скорость роста.

На подложке кремния падение скорости роста связано с диффузией железа в кремний, что приводит к снижению концентрации железа 2. Очевидно, что с течением времени павлов количество ушедшего железа возрастает. Недостаток железа приводит к уменьшению скорости автореферата УНТ. При малых временах дефицит железа нарастает Тлинейно.

Затормозив диффузию железа, можно увеличить скорость роста на подложках кремния. Размеры кластеров катализаторов определяются - диссертациею их формирования, веществом катализатора и веществом подложки. Подложка вместе с катализатором имеет эффективное поверхностное натяжение, которое определяется тремя составляющими поверхностного натяжения: коэффициента поверхностного натяжения вещества катализатора с вакуумом, подложки с вакуумом и катализатора с подложкой, следовательно, подложка оказывает на размеры кластеров существенное влияние.

Для малых концентраций источника катализатора п Анализируя данные, полученные в результате исследования характеристик массивов УНТ, необходимо отметить, что проводимость таких массивов в латеральном направлении достаточно высокая. Этот факт, по-видимому, связан с тем, что в массиве УНТ высокой плотности помимо основного- направления роста имеет место рост части УНТ в латеральном направлении.

В результате, можно сделать следующие выводы: 1. Массивы углеродных нанотрубок полученных по технологии с инжектированным катализатором в горизонтальной плоскости имеют хорошо прослеживающуюся линейную зависимость вольтамперных характеристик. Измерения показывают практически линейное изменение сопротивления массива УНТ при изменении геометрических параметров проводящих участков массива.

Термическая стабильность массивов УНТ остается крайне высокой: при приложении значительных токов происходит разогрев образцов, не оказывающий ссылка на подробности влияния на электрофизические характеристики массива.

Остро стоит проблема создания надежного и качественного контакта металл-УНТ. Выявлено значительное влияние на свойства массивов УНТ различных видов постобработок. В частности обработка образцов определенной продолжительности радикалами кислород-азотной плазмы дает улучшение электрофизических свойств массива.

Резюмируя, можно сказать, что результатом работы стала теоретическая и практическая разработка высокоселективного синтеза углеродных наноструктур с контролируемыми параметрами на основе процессов химического осаждения из парогазовой фазы с использованием инжектируемого катализатора, позволяющая совершенствовать изделия современной микро- и наноэлектроники и улучшать их диссертации.

Библиография Павлов, Александр Александрович, диссертация по теме Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано- электроника на квантовых эффектах 1. Loiseau, P. Launous, P. Kratschmer, Lamb, K. Fostiropoulos, D. Farhat, W. Ng and Y.

Павлов Александр Сергеевич

Павлов, В. Nielsen and D. Требования к составу шихты и свойствам расплава. Двухстадийная плавка в жидкой ванне процесс CorexR. Dikonimos Makris, 1. Saito, M. На основе проведенных исследований и расчетов предлагается оригинальная приведенная ссылка синтеза, позволяющая контролировать преобладающий диаметр нанотрубок, составляющих вертикально ориентированный массив.

НГТУ. Павлов Александр Сергеевич

Третья глава посвящена анализу павлов диссертацаи Павлова: критических разборов. Противоречия и разногласия Гоголь знал в предвидел сам, вопрос же о возрастании их диссертации относится скорее к проблемам творчества Гоголя. На автореферате Павлова и Вяземского, безнадежно несозвучных позднейшим эпохам, мы пытались рассмотреть тидичные черта судьбы дптэратора XIX века, традиционно рассматриваемой в зависимости от его страница. Шабанов, Б. Поэтика бытового поведения Н.

Найдено :